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FAB，是制造的簡稱，F(xiàn)AB車間通常指半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓制造或集成電路制造的車間，是核心生產(chǎn)區(qū)域。FAB無塵凈化車間是現(xiàn)代工業(yè)中要求最嚴(yán)苛的環(huán)境之一，其核心目標(biāo)是控制空氣中的微粒和分子級污染物，因?yàn)榧词故莵單⒚准壍膲m埃也足以毀壞精密的電路圖形，導(dǎo)致芯片良品率下降。下面德信致遠(yuǎn)帶大家具體看看FAB無塵凈化車間的相關(guān)要求。

1、空氣潔凈度

FAB無塵凈化車間普遍遵循ISO標(biāo)準(zhǔn)，通常采用ISO 5-百級、ISO 4-十級甚至更高級別的潔凈等級。這意味著每立方米空氣中，直徑大于等于0.5微米的顆粒物數(shù)量需控制在極低水平，防止微小顆粒附著，影響芯片質(zhì)量和性能等。假如FAB無塵凈化車間某個區(qū)域設(shè)計為百級，也就是說這個區(qū)域的每立方米空氣中大于等于0.5微米的顆粒數(shù)小于等于3520個。FAB無塵凈化車間要達(dá)到百級及以上高潔凈度，需要依賴龐大的風(fēng)機(jī)過濾單元（FFU），通過滿布的形式提供穩(wěn)定的垂直單向流氣流，以迅速排除加工過程中產(chǎn)生的微粒。

2、全面的環(huán)境控制

對于FAB無塵凈化車間全面的環(huán)境控制，最先想到的就是溫濕度，通常情況下，FAB無塵凈化車間的溫度需要控制在22±1℃，濕度需要控制在50%±5%甚至更窄范圍。因?yàn)檫m宜的溫濕度能減少靜電產(chǎn)生，避免晶圓吸附灰塵，同時能保證生產(chǎn)設(shè)備和材料的穩(wěn)定性，防止因環(huán)境變化導(dǎo)致的材料熱脹冷縮，影響加工精度。

除了溫濕度，我們還需注意無塵凈化車間的防靜電措施，無塵凈化車間的地面需要做防靜電地板，在無塵凈化車間內(nèi)作業(yè)的人員，著裝也需要防靜電或者佩戴靜電手環(huán)等，避免靜電釋放擊穿脆弱電路。

另外，F(xiàn)AB無塵凈化車間還需注意的一個是分子污染，除卻用到的高效、超高效過濾器，還需通過加裝化學(xué)過濾器，去除空氣中的酸性、堿性、可凝性和摻雜性氣體，防止其對硅片表面造成化學(xué)污染。

3、人員和物料的管控

FAB無塵凈化車間，人員和物料的管控十分重要。人員必須穿著無塵服并經(jīng)過風(fēng)淋室吹淋，將自身所攜帶的塵埃進(jìn)行除塵后進(jìn)入潔凈區(qū)；而物料也需通過緩沖、吹淋等環(huán)節(jié)后進(jìn)行輸送，最大限度減少人為干擾。

以上，都是FAB無塵凈化車間的相關(guān)要求，想了解更多，可以咨詢專業(yè)的無塵凈化車間廠家。

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