芯片,作為電子設(shè)備的核心組件,通過集成大量晶體管實(shí)現(xiàn)計(jì)算、存儲、控制等功能,廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代社會的各個領(lǐng)域,包括但不限于工業(yè)與自動化領(lǐng)域、汽車電子領(lǐng)域、醫(yī)療健康領(lǐng)域等。眾所周知,芯片對其生產(chǎn)環(huán)境要求極為嚴(yán)格,所以芯片的生產(chǎn)環(huán)境一般是在潔凈室里,通過對潔凈室的空氣凈化、溫濕度管理、人員操作規(guī)范等方面進(jìn)行嚴(yán)格管控,以確保芯片的穩(wěn)定性和成品率。下面德信致遠(yuǎn)帶大家看看芯片生產(chǎn)對潔凈室到底有哪些要求:
一、核心要求
潔凈室的潔凈度等級,芯片在潔凈室里生產(chǎn),首先要保證潔凈室達(dá)到一定的潔凈度要求,通常芯片的生產(chǎn)環(huán)境需達(dá)到ISO 5級(Class 100)級標(biāo)準(zhǔn),也就是每立方米空氣中大于等于0.1微米的顆粒數(shù)不超過3520個。像光刻等關(guān)鍵區(qū)域甚至要求潔凈室的潔凈等級達(dá)到ISO 1級(Class 1),通過高效或者超高效過濾器,實(shí)現(xiàn)99.99%以上的微粒過濾。
潔凈室的溫濕度,芯片在潔凈室里生產(chǎn)時,溫濕度的控制也是非常重要的,因?yàn)樵谛酒a(chǎn)過程中,如果潔凈室里溫度波動過大,就會影響光刻膠性能和設(shè)備精度;潔凈室里濕度如果過高,則容易導(dǎo)致腐蝕,濕度過低,則易產(chǎn)生靜電,對芯片有損傷。
二、基本要求
芯片生產(chǎn)的潔凈室,所需要的材料要選用不銹鋼、防靜電pvc等無塵材料,避免產(chǎn)塵或者化學(xué)揮發(fā),如防靜電pvc地板,離子風(fēng)機(jī),以此來消散靜電荷;此外,進(jìn)入潔凈室的人員,需要穿戴無塵服、口罩、護(hù)目鏡等,經(jīng)風(fēng)淋室除塵(風(fēng)速約在20m/s,吹淋時間約在15秒)后進(jìn)入,嚴(yán)禁攜帶化妝品、手機(jī)等污染物,且在潔凈室里工作,動作需緩慢以減少氣流擾動。
三、其他要求
可為潔凈室選配實(shí)時監(jiān)測顆粒數(shù)、溫濕度、壓差等傳感器,以此動態(tài)監(jiān)測潔凈室各項(xiàng)數(shù)據(jù),異常自動報警,保證潔凈室達(dá)到芯片生產(chǎn)所需各項(xiàng)要求。另外,還需給潔凈室定期更換過濾器,每日清潔潔凈室地面、墻面等。
總之,如果大家要做芯片生產(chǎn)用的潔凈室,一定不能馬虎,任何微小污染物都可能導(dǎo)致芯片有缺陷或不良,所以,要找專業(yè)潔凈室廠商進(jìn)行規(guī)劃設(shè)計(jì)。
更多關(guān)于潔凈室的資料請查看
歡迎來電,提供一對一免費(fèi)咨詢:189 1269 7185
本文屬于德信致遠(yuǎn)原創(chuàng)文章,轉(zhuǎn)載請注明地址:www.90wx.cn